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时间:2018-11-05 信息来源:气体圈子 作者: 浏览次数:1039
日本关东电化拟在华设含氟特气生产基地
【摘要】

日本关东电化工业(関東電化工業株式会社)近日召开董事会。中国政府近年来多次出台半导体和液晶显示产业的重要扶持政策,未来中国半导体市场的前景十分理想,基于此,关东电化决定出资约2亿日元(1200万人民币)在中国设立生产据点。用于满足半导体、液晶所用特殊气体在中国日益增长的需求,预计新厂将于2021年投入生产。这是继在韩国设立海外生产基地之后,日本关东电化与中国企业合资建立的重要的半导体特种气体生产公司。 

关东电化工业株式会社,是日本老牌的含氟气体制造商,在国际享有较高的知名度。随着上世纪90年代中期半导体行业的快速发展,关东电化推出了一系列用于半导体制造的含氟特种气体,比如四氟化碳、六氟-1,3-丁二烯等蚀刻气体,三氟化氮、六氟乙烷和三氟化氯等清洁气体,以及六氟化钨等气相沉积气体。